当前位置:新笔趣阁>都市小说>重生2008:我阅读能赚钱> 第438章 光刻机项目:另辟蹊径
阅读设置(推荐配合 快捷键[F11] 进入全屏沉浸式阅读)

设置X

第438章 光刻机项目:另辟蹊径(1 / 2)

沐阳研究更新后的阅读系统两个多小时才研究透,兴奋得睡不着。

喝了一杯茶,他想看看芯片制造技术的核心设备:光刻机。

目前市场上,有两种主流光刻机,一个是DUV光刻机,另一个是EUV光刻机。DUV是深紫外线(DeepUltravioletLithography),EUV是极深紫外线(ExtreUltravioletLithography)。

从制程范围来看,DUV基本上只能做到25nIntel凭借双工作台的模式做到了10n但是却无法达到10n下。

只有EUV能满足10n下的晶圆制造,并且还可以向5n3n续延伸。

这个线宽其实就是跟光的线宽有关系,比如可见光的G线,那就是436n如果用来刻蚀,线路肯定很宽。

可以简单地认为,光刻机的光系统其实就是一支画笔,不同的光代表不同粗细大小的笔芯,越细的笔(光)能够画越细越复杂的画。

DUV就是彩笔,EUV就是中性笔,中性笔画的线条比较细,比较好用。

这么理解,也好理解光刻机到底如何刻蚀电路图了。

当前,国外品牌光刻机主要以荷蓝ASML,岛国Nikon和Canon三大品牌为主。

EUV的价格是1—3亿美金/台,DUV的价格为2000万—5000万美金/台不等。

目前先进的光刻系统就是EUV光刻机,如果沐阳打算走EUV光刻机路线,必然绕不开别人的技术专利保护范围。

因此,他只能寻找另外光种的光刻机,同时要考虑到光的分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等指标。

就说分辨率,如果制作出来的电路图模糊不清,那芯片肯定不好。

光刻机其它的指标,也可以比喻成画笔的性能就行了。

并不是说,沐阳不能搞光刻机了,只是说,再搞DUV和EUV光刻机,绕不开以上三家企业的技术专利保护范围。

所以,他只能另辟蹊径。

很久之前,沐阳就想到过电子束光刻机。

原本,再过几年,漂亮国的一个实验室研发出一套名为ZyvexLitho1的光刻系统,基于STM扫描隧道显微镜,使用的是EBL(E-Beaithography)电子束光刻方式,制造出了0.7n宽的芯片,只是没法实现批量生产,或者成本高过。

沐阳相信,如果是技术成熟的电子束光刻机,线宽比0.7n小。

他在系统商店普通货架上默念搜索「电子束光刻机」,很快,搜索出几款相关技术。

沐阳选择适合自己公司的一款技术:EBL01

技术参数:

1.最小线宽:小于1nbr/>

2.加速电压:5—500kV

3.电子束直径:小于0.5nbr/>

4.套刻精度:1nan+0.20)

5.拼接精度:1nan+0.20)

6.加工晶圆尺寸:4—18英寸

7.描电镜分辨率:小于0.2nbr/>

主要特点:

1.采用超高亮度和超高稳定性的TFE电子枪;

2.出色的电子束偏转控制技术;

3.采用场尺寸调制技术,电子束定位分辨率可达0.0002n

4.采用轴对称图形书写技术,图形偏角分辨率可达0.002ad;

5.应用领域广泛,如

微纳器件加工,研究用掩膜制造,纳米加工(例如单电子器件、量子器件制作等),高频电子器件中的混合光刻,图形线宽和图形位移测量等。

.....

需要成就点:300点!

....

沐阳大概看了下简介,光从技术参数上就看出它的先进性。

还有更加先进的光刻机,但是,以星海集团目前的条件,买了也造不出来,而且需要的成就点非常多。

这个EBL01号称可以制造1n下的芯片,但量产成本会比较高。

因此,当前的情况,星海集团可以从7n片工艺开始,可以保证在2018年之前保持在世界第一地位。

等竞争对手可以批量搞7n片了,星海集团再推出5n3n片。

有些设备应用,也用不着这么高端的芯片,28n片工艺足够,也是未来十年内的主流。

只是说,沐阳不打算玩什么中低端芯片。

另外,沐阳打算弄一些小于1n芯片,用于制造量子计算机和超算,这类芯片他打算自用。

接下来,沐阳确认购买EBL01技术。

十几分钟后,沐阳把EBL01技术吸收完毕。

他感觉自己对光刻机有了更深入的了解,如今就是实实在在的芯片制造顶尖专家。

买了光刻机的技术,沐阳还得购买芯片设计技术、芯片设计相关软件和相关设备。

这个芯片设计软件,他就不打算自己研发了,他在芯片软件设计这一块是弱点,靠自己研究不知道得花多长时间。

而且,目前公司形势严峻,一旦漂亮国知道自己公司在搞芯片了,会对星海集团搞各种限制。

沐阳现在赶时间,同时还有更多更重要的事情需要他亲自处理。

于是,他又花了400点成就点。

这一晚,沐阳就花了700点成就点,还是有些心疼。

等吸收完新技术后,沐阳实在有些发困了,回床休息。

翌日,沐阳是被宋雪露吧嗒一下脸蛋睡醒的。

「孩子他爸,生日快乐。」

「谢谢,有你真好。」

沐阳睁开朦胧的双眼,揽过妻子的纤腰。

他老婆跟他同年出生,只比他小几个月。

系统8级时,商店有驻颜、延迟衰老类的医药技术,沐阳希望在二十年内研发出来,能够用在老婆身上。

「我看你挺疲惫的,昨晚几点睡的?」

「好像凌晨三点多了吧。」

「这么晚呀,又有什么烦恼?」

上一章 目录 +书签 下一页

>